Физика высокопроводящих прозрачных материалов на основе широкозонного оксида цинка
DOI (Low Temperature Physics):
https://doi.org/10.1063/1.4984077Ключові слова:
оксид цинка, прозрачные проводящие оксиды, донорная примесь, легирование.Анотація
Рассмотрены свойства прозрачных проводящих материалов на основе широкозонного полупроводника оксида цинка, перспективного для применений в фотовольтаике и жидкокристаллических дисплеях. Изучено влияние алюминия на проводимость тонких пленок ZnO, осажденных методом атомно-слоевого роста. Проведены температурные исследования концентрации, подвижности и удельного электросопротивления в диапазоне температур 77–300 К, которые свидетельствуют о металлической проводимости сильно легированных пленок. Электроактивность алюминия как донорной примеси в решетке ZnO изучена для тонких пленок, выращенных методом атомного послойного осаждения на стекло и кремний и содержащих 1–7 ат.% алюминия. Обсуждены причины низкой электроактивности Al в ZnO и предложены пути ее повышения.
Downloads
Опубліковано
2017-02-20
Як цитувати
(1)
Г.В. Лашкарев, В.А. Карпина, Л.И. Овсянникова, В.В. Картузов, Н.В. Дранчук, М. Годлевский, Р. Петрушка, Хомяк В.B., and Л.И. Петросян, Физика высокопроводящих прозрачных материалов на основе широкозонного оксида цинка, Low Temp. Phys. 43, (2017) [Fiz. Nizk. Temp. 43, 643-648, (2017)] DOI: https://doi.org/10.1063/1.4984077.
Номер
Розділ
Статті
Завантаження
Дані завантаження ще не доступні.