Физика высокопроводящих прозрачных материалов на основе широкозонного оксида цинка
DOI:
https://doi.org/10.1063/1.4984077Ключові слова:
оксид цинка, прозрачные проводящие оксиды, донорная примесь, легирование.Анотація
Рассмотрены свойства прозрачных проводящих материалов на основе широкозонного полупроводника оксида цинка, перспективного для применений в фотовольтаике и жидкокристаллических дисплеях. Изучено влияние алюминия на проводимость тонких пленок ZnO, осажденных методом атомно-слоевого роста. Проведены температурные исследования концентрации, подвижности и удельного электросопротивления в диапазоне температур 77–300 К, которые свидетельствуют о металлической проводимости сильно легированных пленок. Электроактивность алюминия как донорной примеси в решетке ZnO изучена для тонких пленок, выращенных методом атомного послойного осаждения на стекло и кремний и содержащих 1–7 ат.% алюминия. Обсуждены причины низкой электроактивности Al в ZnO и предложены пути ее повышения.Завантаження
Дані завантаження ще не доступні.
Downloads
Опубліковано
2017-02-20
Як цитувати
(1)
Лашкарев, Г.; Карпина, В.; Овсянникова, Л.; Картузов, В.; Дранчук, Н.; Годлевский, М.; Петрушка, Р.; Хомяк, В.; Петросян, Л. Физика высокопроводящих прозрачных материалов на основе широкозонного оксида цинка. Fiz. Nizk. Temp. 2017, 43, 643-648.
Номер
Розділ
Статті