Inversion of the temperature coefficient of resistance of chromium films as the result of their nanocrystalline structure

Анотація

Досліджено температурну залежність опору плівок хрому, які отримані термічним осадженням на підкладку при кімнатній температурі. Показано, що найімовірніший розмір кристалітів у свіжоосаджених плівках становить 9 нм і збільшується приблизно на 15% після першого відпалювання. За результатами резистивних досліджень, структура, яка утворюється після першого нагрівання, має високу термічну стійкість та слабо змінюється при термоциклуванні. Встановлено, що до температури приблизно 200 °С температурний коефіцієнт електричного опору зразків є від’ємним і становить приблизно – 2⋅10^–4 К^–1. При подальшому підвищенні температури температурний коефіцієнт опору стає позитивним, але залишається значно нижчим від значення, що відповідає хрому в масивному стані. Ефекти, які спостерігаються, пояснено нанокристалічною структурою зразків.